산업통상자원부(장관 안덕근)는 반도체 업계와의 소통을 강화하고, 고압가스 안전관리기준을 고도화하기 위해 한국가스안전공사, 한국반도체산업협회, 삼성전자, SK하이닉스와 9월 12일(목) 업무협약을 체결했다.
* 고압가스 : 고압 상태의 가스로 기체 상태의 가스가 압축된 경우에는 1.0MPa(10기압) 이상, 가스가 액화된 경우에는 0.2MPa(2기압) 이상이면 고압가스에 해당
반도체 생산 공정에서 모노실란* 등 다양한 고압가스들이 사용되고 있고, 산업 특성상 신소재의 사용, 신기술 도입 등 기술혁신이 급격히 이루어짐에 산업통상자원부는 기업 애로를 해소하기 위해 업계와의 간담회·현장방문 등을 통하여 그 동안 지속적으로 현장 애로과제를 도출하고 전문가 검토 등을 거쳐 규제혁신을 추진해 왔다.
* 모노실란(SiH4) : 반도체 제조공정에서 사용되며 실리콘(Si) 절연막 등 형성시 사용
이번 업무협약에 따라 반도체산업 분야 고압가스 안전관리기준 고도화를 위한 민관 실무협의회를 구성하기로 하였다. 업계에서는 제도 개선을 위한 기술정보를 제공하고, 산업통상자원부와 한국가스안전공사는 신기술 도입 등에 따른 고압가스 안전관리기준 합리화 방안을 검토하고 안전컨설팅 등을 지원한다.
박찬기 수소경제정책관은 “현장 여건에 맞게 안전을 확보하면서 우리 반도체기업이 경쟁력을 강화하도록 안전확보와 산업발전의 균형을 도모하는 것이 중요하다.”고 강조하고, “반도체산업 외 석유화학, 특수가스 등 산업분야 업계와도 소통하여 가스안전관리기준 합리화를 지속적으로 추진해 나가겠다”고 밝혔다.