기후에너지환경부(장관 김성환)는 5월 19일 에스케이(SK)실트론 구미사업장(경북 구미 소재)에서 '고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 사업'의 성과물인 초순수 실증설비(플랜트)의 기술이전을 위한 성과 활용 협약식을 개최한다고 밝혔다.
초순수(Ultra Pure Water)*는 물속의 불순물을 극미량 수준까지 제거한 물로, 반도체 표면의 오염물질을 씻는 데 필수적으로 사용되는 핵심 공정용수다.
* 수중의 이온물질 농도를 1ppt(1조분의 1) 이하, 용존산소 등 기체 농도를 1ppb(10억분의 1) 이하 수준으로 관리
이 용수는 국내 반도체, 디스플레이, 이차전지, 바이오 등 첨단산업 전반에 필수적인 기반 자원이나, 최고난도의 수처리기술이 요구되어 그간 일본, 미국 등 해외기업이 생산 기술을 주도해 왔다.
기후에너지환경부는 이러한 기술 의존도를 낮추고 국내 물산업 경쟁력을 강화하기 위해 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 사업을 추진해 왔다.
설계·시공·운영 전 과정에 국내 기술이 적용된 초순수 실증설비는 수요처인 에스케이실트론 구미사업장에 설치하여 그 성능을 실증했다.
유기물 제거(자외선 산화장치), 용존산소 제거(탈기막), 이온제거 및 수질 고도화(이온교환수지) 등 초순수 제조의 핵심공정에 국내기업이 개발한 주요 장치 및 소재를 적용하여 장기간 운영 실적을 확보했다.
이번 기술이전으로 생산된 초순수는 에스케이실트론 구미사업장의 반도체용 웨이퍼* 생산공정에 공급된다. 이는 국내 설계 기술로 생산된 초순수가 실제 반도체 제조공정에 공급되는 최초 사례로, 국내기업의 현장 적용 실적 확보와 함께 초순수 시장 진입 기반을 마련했다는 점에서 의미가 크다.
* 반도체 칩과 전자회로를 제작하기 위해 사용하는 얇은 원형의 실리콘 판, 반도체 핵심 소재로, 극미량 불순물까지 엄격하게 관리되는 초고순도 공업용수가 필수적으로 요구
또한, 이번 성과를 통해 그간 해외 기술에 의존해 온 초순수 분야의 공급망 안정성을 강화하고, 국내 물기업의 기술 경쟁력 및 산업 생태계 확대에도 기여할 것으로 기대된다.
아울러, 기후에너지환경부는 기후위기로 인한 공업용수 부족에 선제적으로 대응하고 안정적인 초순수 공급체계를 구축하기 위해 초순수 생산 전 공정의 국산화와 하수 재이용 기반 초순수 생산을 통한 원수 다변화 기술개발도 추진하고 있다.
김지영 기후에너지환경부 물이용정책관은 "이번 기술이전은 초순수 기술의 국산화를 넘어 실제 산업현장 적용으로 이어진 중요한 성과"라며, "반도체 등 첨단산업의 대규모 투자가 초순수 등 국내 물산업 발전으로 이어질 것"이라고 밝혔다.
붙임
1. 고순도 공업용수 생산공정 국산화 기술개발사업 개요.
2. 초순수 개요 및 생산공정. 끝.
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